导师姓名：马志波
性别：
人气指数：47

所属院校：西北工业大学
所属院系：机电学院
职称：副研究员
导师类型：
招生专业：


通讯方式 :
办公电话：**
电子邮件：zbma@nwpu.edu.cn


个人简述 :
获得机械工程学会技术发明一等奖一项，国防科学技术二等奖1项： [1] 柔性微纳结构制造技术及其应用，中国机械工业科学技术发明一等奖，2014年，排名第五。 [2] 聚合物基柔性微结构***, 国防科学技术发明二等奖，2012年，排名第五。

科研工作 :
主持国防973子课题、国家自然科学基金面上项目、航空科学基金、西北工业大学基础研究基金等科研项目。 主持和承担的主要项目有： [1] 超高深宽比仿生纳米纤毛阵列研究（**），国家自然科学基金面上项目，2015.1~2018.12。 [2] 气动减阻微纳复合功能结构（**），国家自然科学基金面上项目，2014.1~2017.12，排名第二。 [3] 硅－玻璃键合片单晶硅层研抛减薄工艺研究，航空科学基金，2012.10~2014.10。 [4] 纳米纤毛阵列的微振动高灵敏度光衍射检测方法研究，西北工业大学基础研究基金，2013.1~2014.12。 [5] 微机电系统光学器件的工艺技术优化，上海鸿辉光通讯科技股份有限公司，2010.6~2015.6。 [6] 深硅刻蚀工艺技术优化合作，中国工程物理研究院激光聚变研究中心，2011.3~2013.12。 代表性研究论文包括： [1] Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Xiangming Li, Fang Ye and Weizheng Yuan. Controllable fabrication of periodic arrays of high-aspect-ratio micro-nano hierarchical structures and their superhydrophobicity. J. Micromech. Microeng., 2013, 23, 095027. (SCI: **028 EI: **304). [2] Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Weizheng Yuan, Yang He. Large-Scale patterning of Hydrophobic Silicon Nanostructure Arrays Fabricated by Dual Lithography and Deep Reactive Ion Etching, Nano-Micro Lett., 2013, 5(1), 7-12. (SCI: **002). [3] Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Weizheng Yuan. A?triple-layer protection?process?for?high-aspect-ratio?silicon micronachining by DRIE OF SOI substrates. J. Micromech. Microeng., 2012, 22, 055028. (SCI：**028；EI：**796). [4] Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Weizheng Yuan. Investigation on Silicon Removal in Chemical Mechanical Polishing of SOG Wafers and its Applications. Proceedings of the 13th euspen International Conference, Berlin, 2013. [5] 马志波, 姜澄宇, 任森, 苑伟政. 基于SOI 的硅微谐振式压力传感器芯片制作. 传感技术学报, 2012, 25(2): 180-183. [6] Zhibo Ma, Sen Ren, Dayong Qiao, Weizheng Yuan， Fabrication of a Novel Resonant Pressure Sensor Based on SOI Wafer. 2nd Integration & Commercialization of Micro & Nanosystems International Conference & Exhibition. Clear Water Bay, Kowloon, Hong Kong, June 3-5, 2008. [7] 马志波, 乔大勇, 虞益挺, 苑伟政, 姜澄宇， 一种新型CCD图像采集系统设计. 传感技术学报, 2006, 19(4): 1250-1252. [8] 马志波, 乔大勇, 苑伟政, 姜澄宇，MEMS微结构粘附问题研究. 航空精密制造技术, 2006, 42(6): 9-11. ?授权发明专利包括： [1] 马志波，姜澄宇，苑伟政，一种高深宽比微纳复合结构制造方法，ZL. **7.5 [2] 马志波，姜澄宇，苑伟政，高占空比自支撑纳米透射光栅及其制作方法，ZL.**9.3 [3] 苑伟政，马志波，乔大勇，任森，吕湘连，一种高悬浮空间MEMS可动器件的制作方法，ZL. **6.3 [4] 苑伟政，乔大勇，马志波，吕湘连，微型纵向驱动器，ZL. **6.9 [5] 苑伟政，乔大勇，虞益挺，马志波，一种微型平板静电驱动器及其制作方法，ZL. **2.0