导师姓名：杜凯
性别：男
人气指数：74

所属院校：西南科技大学
所属院系：材料科学与工程学院
职称：教授
导师类型：硕导
招生专业：化学
研究领域： 微纳制造；微纳精密加工，包括激光加工、离子束加工、光刻加工等；超精密压延；软流体制备；三维... [展开]


研究领域： 微纳制造；微纳精密加工，包括激光加工、离子束加工、光刻加工等；超精密压延；软流体制备；三维成型；微胶囊制备；微流体封装；微系统的装配技术(三维与多自由度空间装配技术、功能装配技术)；以及微纳检测。 [收起]




通讯方式 :
办公电话：**
电子邮件：icf802@163.com


科研工作 :
发表论文 1.《The radial distribution of ions and electrons in RF inductively coupled H2/T2B plasmas》 期刊plasma chemistry and plasma processing。2.《基于质谱诊断的C4H8/H2等离子体状态在放电腔室的径向分布研究》 期刊：材料导报 。3. 直流/射频耦合反应磁控溅射法类金刚石薄膜的制备与分析。4. 氢气流量对类金刚石薄膜结构与性能的影响。5. 高质量类金刚石薄膜的制备与性能分析。